什么是MEMS？
| MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种 微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。 微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。 | |
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| 2011-08-09 | ST推出6个自由度的全新MEMS模块 ST推出6个自由度的全新MEMS模块 |
| 2011-05-04 | 美研发新技术可将传统能源收集器效率提高10倍 密歇根大学的工程师称发明了一种针对压电MEMS的微机械加工技术，可使传统能源收集器收集的能量增加10倍以上，一个硬币大小的压电MEMS就可以收集足够驱动植入人体内的医疗装置或机动车上的无线传感器的电力。 |
| 2011-01-11 | 飞思卡尔推出三轴加速计MMA845xQ系列 iSuppli预计2010年全球MEMS市场将会增长11%，为了满足这些需求，飞思卡尔半导体日前宣布推出一款先进的三轴加速计系列产品MMA845xQ系列，旨在通过行业领先的分辨率、低噪音和嵌入式功能来延长智能动作设备的电池使用寿命。 |
| 2010-12-20 | 美研究人员欲借助MEMS实现量子计算机 美研究人员欲借助MEMS实现量子计算机 |
| 2010-10-14 | ADI推出iMEMS陀螺仪ADXRS453 ADI最近宣布 ADI 公司第四代高性能、低功耗、数字输出陀螺仪系列推出新品 -- ADXRS453 iMEMS陀螺仪。新款陀螺仪专门针对恶劣环境中的角速率（旋转）检测而设计，先进的差分 Quad-Sensor(四传感器)设计使它能在强烈的冲击和振动条件下精确工作。 |
| 2010-08-18 | IIC-China 2010秋季，你不得不来“30宗理由”(下) IIC-China 2010秋季展即将拉开帷幕，本次展会将会有哪些看点？《电子工程专辑》提前为您深度挖掘30个展会亮点，总有一个吸引您的眼球。 |
| 2010-05-17 | ADI推出高性能低功耗支持恶劣工业环境的MEMS陀螺仪 ADI推出高性能低功耗支持恶劣工业环境的MEMS陀螺仪 |
| 2010-02-11 | IIC China 2010春季展：关注上网体验 2010年3月初，大型系统设计盛会IIC-China将在深圳、成都、上海三地相继召开，一百多家国际半导体巨头及中国本土厂商将纷纷闪亮登场，展出最新的半导体产品及应用解决方案，涉及智能手机、MID、上网本、高清电视/机顶盒、HDMI接口、LED照明和背光、绿色电源、汽车电子和医疗电子等今年多个热点应用领域。 |
| 2010-01-07 | 美国研发世界最小的太阳能电池，串联电压远远高于传统产品 美国Sandia国家实验室控制了硅(silicon)会生长成岛状的天然特性，利用了微机电系统(MEMS)技术将那些岛状物变成全世界最小的太阳能电池。该实验室声称，其开发出的微米(micron)尺寸太阳能电池之效能与晶圆片尺寸的同类相当，不过所消耗的半导体材料只有百分之一。 |
| 2010-01-04 | ADI开发出一款集众多娱乐功能于一体的超级麦克风 ADI开发出一款号称拥有可以重现具有高传真度之音频/视频、三方通话、与TIA-92兼容的网络电话(VoIP)、声音辨识，以及其它功能的麦克风。 |
| 2009-03-19 | Point 35 Microstructures将氧化物释放技术添加到汽相MEMS制造系列 Point 35 Microstructures将氧化物释放技术添加到汽相MEMS制造系列 |
| 2009-01-14 | 这个冬天不太冷 2008年底，随着金融危机的影响波及实体经济，中国的电子产业开始感到寒意。但《电子工程专辑》同样相信，依托强大的内需市场，这个冬天不会太冷。本文将向读者阐明哪些热点应用将成为国内市场的未来机遇所在。 |
| 2008-10-27 | PSRR及其它电源因素对手机音频质量的影响 不管手机使用的网络是GSM还是TDMA，RF发送器的开关动作都会产生严重影响电源的噪声，因为射频功放的开关频率为217Hz。功放在每次开关时都会从电源吸取很大的电流(典型情况下高达1.7A)，使得电池等效串联电阻(ESR)上将产生高达500mV的突发压降。对于嵌入了高分辨率音频转换器和音频放大器的SoC设计或者高灵敏的MEMS来说，这种变化将危害SoC的总体性能，特别是音频质量将受到严重影响，会听得到嗡嗡的噪声。防止GSM噪声降低音频质量的最佳方法，就是使用具有很低压降(LDO)和低输出噪声的线性稳压器(LR)从锂离子电池直接给音频放大器供电。本文将讨论选择最佳稳压器的标准。 |
| 2008-08-07 | 奥运圣火潜藏MEMS LED显示火炬讯息 奥运圣火潜藏MEMS LED显示火炬讯息 |
| 2008-07-25 | NXP技术长：思考创新的多个层面 从恩智浦半导体(NXP Semiconductors)公司技术长Rene Penning de Vries的角度来看，半导体产业在促成今日庞大知识经济规模的道路上扮演着举足轻重的角色。在整个经济体系中，半导体产业所占比重也许不是最大的，但这个高度知识与技术集中的产业却正带领着全人类往更先进、更科技的方向前进。 |
| 2008-01-10 | 把握电子产业动向，点评2007十大热门应用（下） 2007，在热闹非凡的科技舞台上，从消费电子到车载娱乐、从信息通信到工业控制、从安防到数字家庭……各种技术应用上演着一幕幕的大戏，掀起了一次次的狂潮。时值岁末年初，电子工程专辑网站的编辑们经过热烈讨论，评选出“2007十大热门应用”。现在，就让您随我们一起穿越时空，看看究竟是谁在2007如此炙手可热。 |
| 2008-01-07 | 把握电子产业动向，点评2007十大热门应用（上） 2007，在热闹非凡的科技舞台上，从消费电子到车载娱乐、从信息通信到工业控制、从安防到数字家庭……各种技术应用上演着一幕幕的大戏，掀起了一次次的狂潮。时值岁末年初，电子工程专辑网站的编辑们经过热烈讨论，评选出“2007十大热门应用”。现在，就让您随我们一起穿越时空，看看究竟是谁在2007如此炙手可热。 |
| 2008-01-04 | ST推出LIS344AL三轴MEMS传感器，可用于运动式智能型电源管理 ST推出LIS344AL三轴MEMS传感器，可用于运动式智能型电源管理 |
| 2007-01-11 | 2007，十大应用点亮电子产业未来之路(下) 一种优秀的应用可以捧红一个公司甚至一个产业，那么，哪些领域的哪些应用即将异军突起，火红2007年呢？时值年末岁初，电子工程专辑网站编辑部众编辑放眼整个电子产业，搜罗大批调查数据，为您奉上2007电子产业十大应用预测，希望能给您的设计工作带来一点启示。 |
| 2006-11-24 | 各路英雄论剑IEDM，电力电子行业最新技术大曝光 即将召开的国际电子器件大会(IEDM)其主旨在于突出电力研究领域的进展。Cornell大学将介绍基于放射性同位素兼容CMOS的铁电氮化铝(AlN)发电机的进展。他们声称该设备能够为一个无线传感器节点供电力达10年之久。 |
| 2006-09-26 | 便携设备动力源源不绝，新技术让发电机代替电池！ 美国麻省理工学院的科学家日前正在进行一项研究，在硅芯片上安装完整的燃气涡轮发电机，将能够在同样重量下提供比现有电池技术长10倍的供电时间。该技术将为笔记本电脑、手机等便携电子设备提供电能。 |
| 2006-08-14 | 新技术揭秘：低功耗MOMS-DLP将发光医疗领域 Panchapakesan研究小组宣称已经通过采用MOMS-DLP(微光机械系统-数字光处理器)技术，解决了MEMS-DLP(微机电系统-数字光处理器)存在的功耗太大的问题。研究人员表示，MOMS的功耗足够低，能够满足空间探测的需要，并使场致发射显示器和生物医学的新应用成为可能。 |
| 2006-07-20 | 无锡尚德“插足”，MEMC、茂迪太阳能晶圆合作计划破灭 MEMC Electronic Materials Inc.日前表示，已结束与中国台湾地区茂迪(Motech)的短暂合作，转而与中国大陆的无锡尚德(Suntech Power Holdings Ltd.)合作。美国硅晶圆专业公司MEMS于4月18日签署了一个非约束性意向书，向太阳能电池生产商茂迪提供太阳能晶圆(solar wafer)，期限为8年。 |
| 2006-07-12 | 致力可再生能源开发，MEMC向无锡尚德供应10年太阳能晶圆 MEMC Electronic Materials公司日前表示，已结束与台湾地区茂迪(Motech)的短暂合作，转而与中国大陆的无锡尚德(Suntech Power Holdings)合作。美国硅晶圆专业公司MEMS曾于4月18日签署了一个非约束性意向书，向太阳能电池生产商茂迪提供太阳能晶圆(solar wafer)，当时的合约期限长达8年。 |
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